下载一种元器件的批量测试方法及装置的技术资料

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本发明提供了一种元器件的批量测试方法及装置,其用以检测多个异侧电极晶圆,其包括:S1、暴露待检测晶圆的异侧电极;S2、将待检测晶圆的第一电极连接于信号处理组件接收端;S3、将探针一端与部分晶圆的第二电极电连接,另一端连接信号处理组件发射端;...
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