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本发明一种微振镜结构及提高最大偏转角的方法，属于微机电系统领域；该结构包括反射镜及位于其背面的偏转角调节模块，通过偏转角调节模块调节反射镜的偏转角度；偏转角调节模块包括电驱动结构、铰接结构及支撑结构，所述电驱动结构与反射镜背面的边缘相对，铰...
该专利属于西北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学授权不得商用。

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