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本申请涉及气相成膜技术的领域，提供一种外延工艺用流道盖板，其包括成膜板和加强板，所述加强板平行于所述成膜板设置，且所述加强板位于所述成膜板的上方，所述成膜板的左右两侧均连接有支撑侧板；所述支撑侧板的一侧用于与对象结构抵接，另一侧与所述加强板...
该专利属于北京凯德石英股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京凯德石英股份有限公司授权不得商用。

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