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包含扩散阻挡层的各向异性磁电阻材料制造技术
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下载包含扩散阻挡层的各向异性磁电阻材料的技术资料
文档序号:4333046
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本发明涉及一种基于NiFe磁性层的各向异性磁电阻材料。这种薄膜系统是以NiFe作为磁性层,通过在缓冲层与磁性层之间,磁性层与保护层之间添加Pt作为扩散阻挡层,可以有效抑制高温下缓冲层及保护层材料Ta与NiFe之间的相互扩散。本发明的制备工艺...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
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