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本发明公开了一种提高静电卡盘陶瓷板烧结平整度的方法,属于静电卡盘陶瓷板烧结技术领域,所述方法包括:计算出各区域的陶瓷质量;得出粉料的烧失量比例;计算各区域填料的质量,各个区域填粉的质量为各区域陶瓷质量与粉料烧失量的比;根据填粉质量、粉料松装...该专利属于君原电子科技(海宁)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过君原电子科技(海宁)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种提高静电卡盘陶瓷板烧结平整度的方法,属于静电卡盘陶瓷板烧结技术领域,所述方法包括:计算出各区域的陶瓷质量;得出粉料的烧失量比例;计算各区域填料的质量,各个区域填粉的质量为各区域陶瓷质量与粉料烧失量的比;根据填粉质量、粉料松装...