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本发明涉及晶圆片清洗设备生产技术领域，尤其涉及一种药剂清洗箱；包括主箱体、管道组件、控温组件及副箱体；主箱体包括箱本体、支撑体及载料件，箱本体设有第一内腔，支撑体设于第一内腔内，支撑体设有第二内腔，第二内腔与第一内腔连通，载料件位于第二内腔...
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