【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆片清洗设备生产，尤其涉及一种药剂清洗箱。
技术介绍
1、晶圆片在生产过程中需要浸入化学药剂液内进行表面清洗，通常将若干个晶圆片整齐摆放在料框内，再将料框浸入化学药剂液中，清洗过程中对药液的温度要求较高，方能确保晶圆片的清洗质量及清洗效率，而现有的清洗箱对药液温度的控制具有成本高、效率低的问题，导致生产成本高，不能满足生产要求。
技术实现思路
1、为了克服现有技术中存在的高耗能的缺点，本专利技术的目的在于提供一种药剂清洗箱，实现低耗能，提高生产效率，降低生产成本的目的。
2、为实现上述目的，本专利技术的技术方案为：
3、一种药剂清洗箱，包括主箱体、管道组件、控温组件及副箱体；
4、所述主箱体包括箱本体、支撑体及载料件，所述箱本体设有第一内腔，所述支撑体设于第一内腔内，所述支撑体设有第二内腔，所述第二内腔与第一内腔连通，所述载料件位于第二内腔内，所述副箱体与所述主箱体围设成第三内腔；
5、所述控温组件包括加热体、冷却体及温控件，...
【技术保护点】
1.一种药剂清洗箱，其特征在于：包括主箱体(1)、管道组件(2)、控温组件及副箱体(4)；
2.根据权利要求1所述的药剂清洗箱，其特征在于：所述支撑体(12)包括上固定件(121)、下固定件(122)及若干个杆体(123)，每个杆体(123)的两端分别与上固定件(121)及下固定件(122)连接，相邻两个杆体(123)间距设置。
3.根据权利要求2所述的药剂清洗箱，其特征在于：每个杆体(123)均设有若干个第一缺口(1231)，若干个第一缺口(1231)沿杆体(123)的长度方向设置，相邻两个第一缺口(1231)间距设置，所述第一缺口(1231...
【技术特征摘要】
1.一种药剂清洗箱，其特征在于：包括主箱体(1)、管道组件(2)、控温组件及副箱体(4)；
2.根据权利要求1所述的药剂清洗箱，其特征在于：所述支撑体(12)包括上固定件(121)、下固定件(122)及若干个杆体(123)，每个杆体(123)的两端分别与上固定件(121)及下固定件(122)连接，相邻两个杆体(123)间距设置。
3.根据权利要求2所述的药剂清洗箱，其特征在于：每个杆体(123)均设有若干个第一缺口(1231)，若干个第一缺口(1231)沿杆体(123)的长度方向设置，相邻两个第一缺口(1231)间距设置，所述第一缺口(1231)朝向箱本体(11)设置，所述冷却体(32)嵌于第一缺口(1231)内。
4.根据权利要求1所述的药剂清洗箱，其特征在于：所述药剂清洗箱还包括升降组件(5)，所述升降组件(5)驱动载料件(13)运动。
5.根据权利要求4所述的药剂清...
【专利技术属性】
技术研发人员：李成，姚禄华，邱立阳，赵江风，赵燕飞，
申请(专利权)人：东莞市鼎力自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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