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本发明公开了一种毫米波双面晶圆的自动化测试系统及测试方法，系统由双面晶圆测试硬件平台、主控计算机和测试仪表组成。双面晶圆测试硬件平台集成了实现毫米波双面晶圆正反两面PAD点自动识别定位、自动对针连接及多个测试通道自动切换等功能的硬件装置；主...
该专利属于中国电子科技集团公司第五十五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第五十五研究所授权不得商用。

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