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本发明涉及一种差分电容式传感器及其连接柱成型方法，传感器包括：背板；位于背板两侧的第一振膜和第二振膜，第一振膜和第二振膜分别与背板间隔设置，第一振膜和第二振膜的边沿密封连接，第一振膜和第二振膜之间形成低压密封空腔，背板位于低压密封空腔内；多...
该专利属于湖北九峰山实验室所有，仅供学习研究参考，未经过湖北九峰山实验室授权不得商用。

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