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本发明属于光刻技术领域，具体涉及一种含萘二甲酰亚胺类聚合物及其制备方法和硬掩膜组合物及其形成图案的方法。所述含萘二甲酰亚胺类聚合物具有式(1)所示结构。所述硬掩模组合物含有含萘二甲酰亚胺类聚合物、交联剂、催化剂、表面活性剂和溶剂。本发明设计...
该专利属于安徽恒坤新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽恒坤新材料科技有限公司授权不得商用。

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