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本技术提供一种SiC托盘清洗装置，包括闭合轨道、夹爪、及驱动夹爪沿闭合轨道滑动的驱动组件，夹爪用于夹取将SiC托盘，在夹爪的下方、沿闭合轨道的布置方向依次设有溶液槽、水槽和烘干槽，溶液槽用于盛载清洗溶液，水槽用于盛载清水，在夹爪上设有伸缩组...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。

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