一种SiC托盘清洗装置制造方法及图纸

本技术提供一种SiC托盘清洗装置，包括闭合轨道、夹爪、及驱动夹爪沿闭合轨道滑动的驱动组件，夹爪用于夹取将SiC托盘，在夹爪的下方、沿闭合轨道的布置方向依次设有溶液槽、水槽和烘干槽，溶液槽用于盛载清洗溶液，水槽用于盛载清水，在夹爪上设有伸缩组件，伸缩组件用于控制夹爪的竖向伸缩，驱动组件驱动夹爪位于溶液槽、水槽和烘干槽时，伸缩组件控制夹爪竖向伸长，本技术通过夹爪夹紧待清洗的SiC托盘，使驱动组件带动夹爪沿着闭合轨道滑动，使得SiC托盘可以依次经过溶液槽化学清洗、经过水槽将溶液洗净、经过烘干槽将SiC托盘烘干由于没有使用清洗支架，清洗支架狭缝处的SiC托盘也能得到清洗，且避免了将SiC托盘放入清洗支架可能导致托盘破损。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及led芯片生产制造，特别涉及一种sic托盘清洗装置。

技术介绍

1、sic托盘一般用于装载晶圆，为了控制sic托盘表面颗粒，降低晶圆颗粒数量，sic托盘需定期清洗以去除表面的薄膜。

2、现有技术当中，一般是将sic托盘装入清洗支架，然后再将清洗支架依次放入溶液槽和水槽中清洗，然而此种清洗方式存在以下问题：

3、1.清洗支架边缘有狭缝，无法清洗到sic托盘此处；

4、2.需要人为地将sic托盘放入清洗支架中，可能不注意使得托盘破损；

5、3.对清洗溶液用量要求高，要把sic托盘全部浸没，如果槽体不够大，还需要转动盘子，且竖直放置时，可能有溶液反应物附着在花篮上，进而污染了sic托盘。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种sic托盘清洗装置，旨在解决
技术介绍
中提到的技术问题。

2、为了实现上述目的，本技术是通过如下技术方案来实现的：

3、一种sic托盘清洗装置，包括闭合轨道、夹爪、及驱动所述夹爪沿所述闭合轨本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种SiC托盘清洗装置，其特征在于，包括闭合轨道、夹爪、及驱动所述夹爪沿所述闭合轨道滑动的驱动组件，所述夹爪用于夹取将所述SiC托盘，在所述夹爪的下方、沿所述闭合轨道的布置方向依次设有溶液槽、水槽和烘干槽，所述溶液槽用于盛载清洗溶液，所述水槽用于盛载清水，在所述夹爪上设有伸缩组件，所述伸缩组件用于控制所述夹爪的竖向伸缩，所述驱动组件驱动所述夹爪位于所述溶液槽、水槽和烘干槽时，所述伸缩组件控制所述夹爪竖向伸长。

2.根据权利要求1所述的SiC托盘清洗装置，其特征在于，在所述溶液槽和水槽内均设有供所述SiC托盘滑动的振动轨道，所述振动轨道与所述SiC托盘摩擦连接。

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【技术特征摘要】

1.一种sic托盘清洗装置，其特征在于，包括闭合轨道、夹爪、及驱动所述夹爪沿所述闭合轨道滑动的驱动组件，所述夹爪用于夹取将所述sic托盘，在所述夹爪的下方、沿所述闭合轨道的布置方向依次设有溶液槽、水槽和烘干槽，所述溶液槽用于盛载清洗溶液，所述水槽用于盛载清水，在所述夹爪上设有伸缩组件，所述伸缩组件用于控制所述夹爪的竖向伸缩，所述驱动组件驱动所述夹爪位于所述溶液槽、水槽和烘干槽时，所述伸缩组件控制所述夹爪竖向伸长。

2.根据权利要求1所述的sic托盘清洗装置，其特征在于，在所述溶液槽和水槽内均设有供所述sic托盘滑动的振动轨道，所述振动轨道与所述sic托盘摩擦连接。

3.根据权利要求1所述的sic托盘清洗装置，其特征在于，所述驱动组件包括滑轨气缸，所述滑轨气缸与所述夹爪固定连接。

4.根据权利要求3所述的sic托盘清洗装置，其特征在于，所述夹爪包括与所述滑轨气缸固...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳高剑，田晓强，崔思远，文国昇，金从龙，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：

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