下载光学式光阻成形设备的技术资料

文档序号:43320470

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本技术公开了一种光学式光阻成形设备,其包含一加工载台、一位移机构、一光阻喷涂器、及一激光发射器。所述加工载台用以供一铜质模具设置。所述位移机构安装于所述加工载台且能用以相对于所述铜质模具移动。所述光阻喷涂器对应于所述加工载台设置,用以于所述...
该专利属于光群雷射科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过光群雷射科技股份有限公司授权不得商用。

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