下载一种单晶炉冷却装置的技术资料

文档序号:4331888

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本实用新型涉及一种单晶炉冷却装置,包括内、外封头,炉盖内、外颈,导流环,冷却水进、出口阀,炉盖上、下法兰,视窗,还包括导流板,所述导流板安装在所述斜孔附近,且导流板的数量与所述斜孔的数量相同,所述导流板下端与炉盖下法兰的上端面固定,且导流板...
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