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本技术涉及晶圆键合领域，公开了一种晶圆键合定位组件以及晶圆键合设备，该晶圆键合定位组件包括：包括外环托盘和内环托盘的托盘；承载晶圆的卡盘；卡盘的表面设置有定位标识；识别晶圆上的晶圆标识的第一识别装置；识别定位标识在平行于卡盘所在平面内，沿设...
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