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本发明涉及光学系统技术领域，提供一种读数头、光栅干涉仪及位移测量系统，该读数头包括：分光组件和导光组件，该读数头借助于分光组件，将第一信号光分为五路第一光束，将第二信号光分为三路第二光束，该读数头具有两个自由度，可以从两个维度对因光栅位移而...
该专利属于北京华卓精科科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京华卓精科科技股份有限公司授权不得商用。

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