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P型超结横向双扩散半导体金属氧化物晶体管制造技术
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文档序号:4331143
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一种P型超结横向双扩散半导体金属氧化物晶体管,包括:N型衬底,在N型衬底上设有超结结构及N型体区,超结结构由连接源漏区方向相间分布的P型区和N型区构成,在N型体区上方设有P型源区、N型体接触区及栅氧化层,在超结结构的上方设有P型漏区,在超结...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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