下载一种AT切型石英谐振式氢气传感器的技术资料

文档序号:43310324

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本发明公开了一种AT切型石英谐振式氢气传感器,属于氢气传感器技术领域,包括依次叠置的第一钯材料多功能层、AT切型石英压电层和第二钯材料多功能层;第一钯材料多功能层与第二钯材料多功能层关于AT切型石英压电层对称设置;AT切型石英谐振式氢气传感...
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