一种AT切型石英谐振式氢气传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种AT切型石英谐振式氢气传感器，属于氢气传感器技术领域，包括依次叠置的第一钯材料多功能层、AT切型石英压电层和第二钯材料多功能层；第一钯材料多功能层与第二钯材料多功能层关于AT切型石英压电层对称设置；AT切型石英谐振式氢气传感器置于待测氢气环境中，向第一钯材料多功能层和第二钯材料多功能层施加激励信号，使AT切型石英谐振式氢气传感器发生谐振，通过检测谐振频率，实现待测氢气环境的氢气浓度检测。本发明专利技术利用钯金属薄膜对氢气的吸附作用使钯的杨氏模量发生变化，以改变谐振器的谐振频率，进而实现氢气浓度检测，具有结构简单、器件体积小、响应速度快、检测灵敏度高的优点，并且器件制备工艺简单成熟，成本较低，适用于大批量生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于氢气传感器，具体涉及一种at切型石英谐振式氢气传感器。

技术介绍

1、近年来，氢气作为一种新型清洁能源受到广泛关注，在推进节能减排、调整能源产业结构和应对全球气候变化方面具有重要意义。但是氢气作为一种无色、无臭、无味的可燃气体，其在空气中4％～75.6％的浓度(体积分数)范围内极易发生爆炸。典型的氢气传感器包括热传导类型、电阻类型、功函数类型、光学类型等，均存在响应速度慢、灵敏度低、功耗较大、抗干扰差等问题，在实现快速、高灵敏度、高浓度的氢气检测上存在一定挑战。

2、谐振型氢气传感器是由氢敏感材料和各类谐振器复合而成的一类新型氢气传感器，其利用氢敏感材料的氢吸特性与谐振器的电学谐振特性，将外部待测氢气浓度转换为器件的谐振频率，进而达到氢气浓度检测的目的。由于谐振型氢传感器的传感信号是频率信号，属于半数字信号，相对于典型的氢气传感器的模拟传感信号而言，其具有更强的抗干扰能力与更高的检测分辨率。同时，谐振型氢传感器的核心敏感单元是容性的谐振元件，其功率消耗也远低于阻性敏感单元的典型的氢气传感器。得益于以上原因，谐振型氢气传感器在实现低本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种AT切型石英谐振式氢气传感器，其特征在于，包括依次叠置的第一钯材料多功能层、AT切型石英压电层和第二钯材料多功能层；第一钯材料多功能层与第二钯材料多功能层关于AT切型石英压电层对称设置；

2.根据权利要求1所述AT切型石英谐振式氢气传感器，其特征在于，所述第一钯材料多功能层与第二钯材料多功能层为形状和尺寸完全相同的钯金属薄膜。

3.根据权利要求2所述AT切型石英谐振式氢气传感器，其特征在于，所述第一钯材料多功能层和第二钯材料多功能层的平面尺寸小于等于AT切型石英压电层的平面尺寸。

4.根据权利要求3所述AT切型石英谐振式氢气传感器，其特征在于，...

【技术特征摘要】

1.一种at切型石英谐振式氢气传感器，其特征在于，包括依次叠置的第一钯材料多功能层、at切型石英压电层和第二钯材料多功能层；第一钯材料多功能层与第二钯材料多功能层关于at切型石英压电层对称设置；

2.根据权利要求1所述at切型石英谐振式氢气传感器，其特征在于，所述第一钯材料多功能层与第二钯材料多功能层为形状和尺寸完全相同的钯金属薄膜。

3.根据权利要求2所述at切型石英谐振式氢气传感器，其特征在于，所述第一钯材料多功能层和第二钯材料多功能层的平面尺寸小于等于at切型石英压电层的平面尺寸。

4.根据权利要求3所述at切型石英谐...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈聪，向海，马建博，李怡帆，白利兵，黄伟，程玉华，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：