温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种加热盘倾斜角度的调节装置、方法及加热盘。所述加热盘倾斜角度的调节装置包括：第一法兰，分别固定连接加热盘和第一钢珠保持架，其中，所述第一法兰的下侧具有第一导向斜面；第二法兰，连接外部的固定装置，且其下侧具有第二导向斜面，其中，...
该专利属于拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。