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氮化镓烧结体及其制造方法技术
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文档序号:43306576
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本发明提供与通过热压处理得到的以往的氮化镓的烧结体相比,烧结后的再氧化导致的氧含量增加得到抑制的高氮化镓的烧结体及其制造方法、以及其用途中的至少任一者。一种氮化镓的烧结体,其具有密度比烧结体内部高的表面层,并且镓相对于镓和氮的总和的原子量比...
该专利属于东曹株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东曹株式会社授权不得商用。
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