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本发明的课题在于提供具有高阻气性及高表面弹性模量、且具有优异的湿热耐久性的阻气膜、在整个表面均针孔少而具有高阻气性的阻气膜、以及它们的制造方法。第1阻气膜具有包含硅及氧的阻气层，在上述阻气层的厚度方向上具有包含硅、氧及氮且氮的元素比率为5a...
该专利属于琳得科株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过琳得科株式会社授权不得商用。

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