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本技术涉及晶圆盒承载技术领域,公开了集成电路晶圆盒承载装置,包括U型挡板治具,所述U型挡板治具包括左侧板,所述左侧板下端固定连接有底板,所述底板右端固定连接有右侧板,所述底板上固定连接有楔块,所述楔块上放置有晶舟盒体,所述晶舟盒体上设有卡槽...该专利属于日荣半导体(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过日荣半导体(上海)有限公司授权不得商用。
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