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本发明公开了一种蒸镀设备及导流板开孔方法，涉及蒸镀技术领域。该蒸镀设备包括设备主体、源罩壳、导流板、蒸发源及调节机构，设备主体具有蒸镀腔，蒸镀腔内设置有蒸镀基底；导流板与源罩壳连接并共同围成混合腔，蒸发源处于混合腔内，导流板与蒸镀基底相对设...
该专利属于上海盛剑科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海盛剑科技股份有限公司授权不得商用。

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