下载一种测量四分量的高效电磁近场探头的技术资料

文档序号:43299618

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本发明公开了一种测量四分量的高效电磁近场探头,包括多层金属布线结构,所述多层金属布线结构包括第一层、第二层、第三层和第四层,所述第一层、第二层、第三层和第四层之间通过过孔相连;探测结构,所述探测结构包括设置在第二层的探测环路,所述探测环路由...
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