一种测量四分量的高效电磁近场探头制造技术

本发明专利技术公开了一种测量四分量的高效电磁近场探头，包括多层金属布线结构，所述多层金属布线结构包括第一层、第二层、第三层和第四层，所述第一层、第二层、第三层和第四层之间通过过孔相连；探测结构，所述探测结构包括设置在第二层的探测环路，所述探测环路由第二层线圈、第三层线圈及通孔组成，用于感应垂直穿过环路的磁场信号；传输结构，所述传输结构包括背衬导体的共面波导线和带状线。本发明专利技术通过优化探测结构的布局和采用先进的屏蔽技术，显著减少了电场与磁场之间的不必要耦合，多层结构可允许每个探测环路独立运作，减少了信号之间的交叉干扰，此外，屏蔽层的使用确保了外部信号干扰的最小化，从而提高了测量的精准性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电磁近场探头领域，具体为一种测量四分量的高效电磁近场探头。

技术介绍

1、由于现代电子产品的集成度和频率越高，以及功耗、面积和电压越小，导致其电磁环境越来越复杂，需要测量的电磁分量较多，并且待测emi信号也越来越微弱，给检测定位带来了一定的困难性。通常，需要检测的电磁干扰信号的幅度通常很小，并且特殊场景下需要同时测量多个电场和磁场分量的信息。

2、目前针对多分量近场探头的设计主要存在四个问题有：第一个问题是电磁场耦合的问题；第二个是探测灵敏度低的问题；第三个是近场探头成本和维护的问题；第四个是探测带宽的问题。

3、针对上述问题，对探头的探测环路结构和传输结构的设计是解决此类问题的关键，而现有技术的探头的可测量分量不超过三个分量，且一旦损坏只能全部扔掉，造成了极大的资源浪费。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种测量四分量的高效电磁近场探头，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：

<p>3、一种测量四分本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种测量四分量的高效电磁近场探头，其特征在于：包括

2.根据权利要求1所述的一种测量四分量的高效电磁近场探头，其特征在于：所述第一层为基底层，用于支撑整个探头结构，所述第二层为主要磁场信号层，包括用于感应和放大测量对象的磁场信号，所述第三层为附加导电层，通过过孔与第一层、第二层和第四层相连，用于增强信号的传输和感应能力，所述第四层为屏蔽层，用于减少外界电磁干扰对探测结果的影响。

3.根据权利要求2所述的一种测量四分量的高效电磁近场探头，其特征在于：所述第二层线圈位于主要磁场信号层内，用于感应和捕获特定磁场信号，所述第三层线圈位于附加导电层内，通过通孔与第二层线...

【技术特征摘要】

1.一种测量四分量的高效电磁近场探头，其特征在于：包括

2.根据权利要求1所述的一种测量四分量的高效电磁近场探头，其特征在于：所述第一层为基底层，用于支撑整个探头结构，所述第二层为主要磁场信号层，包括用于感应和放大测量对象的磁场信号，所述第三层为附加导电层，通过过孔与第一层、第二层和第四层相连，用于增强信号的传输和感应能力，所述第四层为屏蔽层，用于减少外界电磁干扰对探测结果的影响。

3.根据权利要求2所述的一种测量四分量的高效电磁近场探头，其特征在于：所述第二层线圈位于主要磁场信号层内，用于感应和捕获特定磁场信号，所述第三层线圈位于附加导电层内，通过通孔与第二层线圈相连接，用于增强磁场信号的感应和传输能力，所述第二层线圈和第三层线圈形成一个探测环路结构。

4.根据权利要求3所述的一种测量四分量的高效电磁近场探头，其特征在于：所述探测环路结构用于同时感应和测量水平磁场分量、垂...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖何，邓利平，邹海洋，
申请(专利权)人：西华师范大学，
类型：发明
国别省市：