下载一种大尺寸WTi靶材及其制备方法与应用的技术资料

文档序号:43298701

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本发明公开了一种WTi靶材及其制备方法与应用,属于金属加工领域,本发明所述方法通过特定的原料混合以及特殊的阶段程序式烧结和压力控制工艺,使得制备的产品在不依赖特殊设备或者严苛条件的情况下即可达到高致密度和高纯度的要求,同时WTi元素的含量控...
该专利属于先导薄膜材料(安徽)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过先导薄膜材料(安徽)有限公司授权不得商用。

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