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一种基于纳米压痕测试求取薄膜弹性模量的方法技术
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文档序号:43297645
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本发明公开了一种基于纳米压痕测试求取薄膜弹性模量的方法,包括构建自立式薄膜压痕测试的实验平台或仿真模型;测量压头尖端和薄膜样本的尺寸或根据需求设置压头尖端和薄膜样本的尺寸;利用实验平台或仿真软件对薄膜样本进行压痕操作,获得相应的载荷‑位移曲...
该专利属于上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学授权不得商用。
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