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本发明提供一种邦头力常数测量方法及测量装置，其中，测量方法包括：控制升降电机，将高精度压力传感器运动到整个待测行程内选取的多个待测位置，记录邦头机构的位置P(k)；输入电流I(t)，使瓷嘴压在高精度压力传感器上至压力值产生变化，记录输入电流...
该专利属于广东阿达半导体设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东阿达半导体设备股份有限公司授权不得商用。

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