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本技术公开一种多晶硅生产废气深度回收系统，其包括尾气缓冲罐、淋洗塔、冷却淋洗液管线、暂存罐、压缩机、深冷冷却器、废气深冷分离罐和氯硅烷储罐；尾气缓冲罐的出气口与淋洗塔的进气口连通，冷却淋洗液管线与淋洗塔的进液口连通，淋洗塔的出气口与暂存罐的...
该专利属于内蒙古大全新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古大全新能源有限公司授权不得商用。

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