一种多晶硅生产废气深度回收系统技术方案

本技术公开一种多晶硅生产废气深度回收系统，其包括尾气缓冲罐、淋洗塔、冷却淋洗液管线、暂存罐、压缩机、深冷冷却器、废气深冷分离罐和氯硅烷储罐；尾气缓冲罐的出气口与淋洗塔的进气口连通，冷却淋洗液管线与淋洗塔的进液口连通，淋洗塔的出气口与暂存罐的进气口连通，暂存罐的出气口与压缩机的进气口连通，压缩机的出气口与深冷冷却器的进气口连通，深冷冷却器的出口与废气深冷分离罐的进口连通，废气深冷分离罐的出液口与氯硅烷储罐的进液口连通。本技术的优点在于：本技术连接结构简单，易实现，充分实现了氯硅烷的回收，避免其浪费，提供了企业的经济效益；充分实现了冷量的回收，节约了能耗。

【技术实现步骤摘要】

：本技术涉及一种回收系统，特别涉及一种多晶硅生产废气深度回收系统。

技术介绍

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技术介绍
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1、目前多晶硅制造方法是将冶金级金属硅粉转化为液态的三氯氢硅等氯硅烷，然后通过精馏利用混合物中各种组分挥发度不同，经过多次的部分冷凝和部分加热实现组分分离；去除其中的杂质，再用高纯氢气将提纯后的氯硅烷还原为多晶硅；在上述生产过程中会产生大量的废气，废气中主要含有n2、h2、hcl和氯硅烷，目前废气回收方法为采用两个冷却器冷却来自界区外的废气，再经过吸附塔吸附废气中残留的氯硅烷、氯化氢等杂质后去循环回收处理，因为废气中氯硅烷含量不高，冷凝温度不够会导致氯硅烷冷凝不彻底，进而浪费了废气中有用的物质氯硅烷。

技术实现思路

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技术实现思路
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1、本技术的目的在于提供一种连接结构简单，充分实现了氯硅烷回收，且节约了能耗的多晶硅生产废气深度回收系统。

2、本技术由如下技术方案实施：本专利的目的提供一种多晶硅生产废气深度回收系统，其包括尾气缓冲罐、淋洗塔、冷却淋洗液管线、暂存罐、压缩机、深冷冷却器本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多晶硅生产废气深度回收系统，其特征在于，其包括尾气缓冲罐、淋洗塔、冷却淋洗液管线、暂存罐、压缩机、深冷冷却器、废气深冷分离罐和氯硅烷储罐；所述尾气缓冲罐的出气口与所述淋洗塔的进气口连通，所述冷却淋洗液管线与所述淋洗塔的进液口连通，所述淋洗塔的出气口与所述暂存罐的进气口连通，所述暂存罐的出气口与所述压缩机的进气口连通，所述压缩机的出气口与所述深冷冷却器的进气口连通，所述深冷冷却器的出口与所述废气深冷分离罐的进口连通，所述废气深冷分离罐的出液口与所述氯硅烷储罐的进液口连通。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产废气深度回收系统，其特征在于，其还包括废气回收换热器，所述尾...

【技术特征摘要】

1.一种多晶硅生产废气深度回收系统，其特征在于，其包括尾气缓冲罐、淋洗塔、冷却淋洗液管线、暂存罐、压缩机、深冷冷却器、废气深冷分离罐和氯硅烷储罐；所述尾气缓冲罐的出气口与所述淋洗塔的进气口连通，所述冷却淋洗液管线与所述淋洗塔的进液口连通，所述淋洗塔的出气口与所述暂存罐的进气口连通，所述暂存罐的出气口与所述压缩机的进气口连通，所述压缩机的出气口与所述深冷冷却器的进气口连通，所述深冷冷却器的出口与所述废气深冷分离罐的进口连通，所述废气深冷分离罐的出液口与所述氯硅烷储罐的进液口连通。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产废气深度回收系统，其特征在于，其还包括废气回收换热器，所述尾气缓冲罐的出气口与所述废气回收换热器的热介质入口连通，所述废气回收换热器的热介质出口与所述淋洗塔的进气口连通；所述淋洗塔的出气口与所述废气回收换热器的冷介质入口连通，所述废气回收换热器的冷介质出口与所述暂存罐的进气口连通。

3.根据权利要求1或2所述的一种多晶硅生产废气深度回收系统，其特征在于，其还包括废气冷量回收换热器；所述压缩机的出气口与所述废气冷量回收换热器的热介质入口连通，所述废气冷量回收换热器的热介质出口与所述深冷冷却器的进气口连通，所述废气深冷分离罐的出气口与所述废气冷量回收换热器的冷介质入口连通。

4.根据权利要求3所述的一种多晶硅生产废气深度回收系统，其特征在于，其还包括废气吸附塔、废气过滤器和废气外送加热器；所述废气冷量回收换热器的冷介质出口与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张强，郭辉，
申请(专利权)人：内蒙古大全新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：