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本发明涉及压延机设备技术领域，具体而言，涉及一种晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置和压延机。晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置包括接触底座、固定底座和间隙检测装置；所述间隙检测装置设置在所述固定底座上，且与所述接触底座相对应设置，用于检...
该专利属于芊惠半导体科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芊惠半导体科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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