晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置和压延机制造方法及图纸

技术编号:43293790 阅读:12 留言:0更新日期:2024-11-12 16:12
本发明专利技术涉及压延机设备技术领域,具体而言,涉及一种晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置和压延机。晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置包括接触底座、固定底座和间隙检测装置;所述间隙检测装置设置在所述固定底座上,且与所述接触底座相对应设置,用于检测分别设置在两个压延辊上的所述接触底座和所述固定底座之间的间隙。本发明专利技术实施例的有益效果是:通过间隙确认装置检测设置在相邻压延辊上的接触底座和固定底座之间的距离,从而实现对相邻压延辊之间的间隙的快速调整,降低了调整时间,提高了生产效率,减少了材料的报废。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及压延机设备,具体而言,涉及一种晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置和压延机


技术介绍

1、现如今压延机设备样式众多,对于压延辊间隙的确认没有可靠的控制标准,以往的压延辊间隙判定是依靠测量输出产品的尺寸,从而反向再去调节辊间隙,无法更为精确的去控制,在生产前期会造成部分材料的浪费,也比较耗时间,不同的产品需要不同的辊间隙,每次都需要做调整,从而给实际的使用带来了诸多不便,造成很多材料的浪费。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置和压延机,其能够在调整压延辊间隙时,降低调整时间,提高生产效率,减少材料报废。

2、本专利技术的实施例是这样实现的:

3、第一方面,本技术提供一种晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置,包括接触底座、固定底座和间隙检测装置;

4、所述间隙检测装置设置在所述固定底座上,且与所述接触底座相对应设置,用于检测分别设置在两个压延辊上的所述接触底座和所述固定底座之间的间隙。

<p>5、在可选的实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置,其特征在于,包括接触底座、固定底座和间隙检测装置;

2.根据权利要求1所述的晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置,其特征在于,所述间隙检测装置为百分表。

3.根据权利要求1所述的晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置,其特征在于,所述固定底座包括固定底板和固定架;

4.根据权利要求3所述的晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置,其特征在于,所述安装槽包括接触槽和表盘槽;

5.根据权利要求3所述的晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置,其特征在于,所述固定底板上设置有第一固定孔,第一螺栓穿过所述第一固定...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置,其特征在于,包括接触底座、固定底座和间隙检测装置;

2.根据权利要求1所述的晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置,其特征在于,所述间隙检测装置为百分表。

3.根据权利要求1所述的晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置,其特征在于,所述固定底座包括固定底板和固定架;

4.根据权利要求3所述的晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置,其特征在于,所述安装槽包括接触槽和表盘槽;

5.根据权利要求3所述的晶圆磨划基材生产用压延辊间隙确认装置,其特征在于,所述固定底板上设置有第一固定孔,第一螺栓穿过所述第一固定孔设置。

6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员:李丹丹
申请(专利权)人:芊惠半导体科技苏州有限公司
类型:新型
国别省市:

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