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本发明公开了一种高性能硅晶圆材料及其制备工艺，涉及硅晶圆技术领域，所述高性能硅晶圆材料的原料包括区熔法硅晶棒，区熔法硅晶棒即采用区域熔融法对半导体棒料进行生长提纯的硅晶棒。该高性能硅晶圆材料及其制备工艺，利用区域熔融法制备的硅晶棒在制备过程...
该专利属于苏州航新恒咨询管理合伙企业（有限合伙）所有，仅供学习研究参考，未经过苏州航新恒咨询管理合伙企业（有限合伙）授权不得商用。

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