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本技术提供一种半导体维修装置，属于半导体加工技术领域。包括底座，所述底座的上端面固定有固定柱，所述固定柱的顶部安装电子显微镜，所述底座的上端面对应所述电子显微镜的正下方设置有放置台，所述放置台的上端面中部开设有蜂窝槽，所述蜂窝槽连接有负压泵...
该专利属于兴芯社（重庆）电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过兴芯社（重庆）电子设备有限公司授权不得商用。

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