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本发明涉及传感器技术领域，公开了一种光纤法布里‑珀罗温度传感器及其制备方法，包括MEMS温度敏感硅片，具有第一面和第二面；第一石英片，阳极键合于第一面，第一石英片刻蚀有通孔；第二石英片，阳极键合于第二面，第一面刻蚀有第一凹槽，第二石英片刻蚀...
该专利属于苏州光格科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州光格科技股份有限公司授权不得商用。

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