一种光纤法布里-珀罗温度传感器及其制备方法技术

本发明专利技术涉及传感器技术领域，公开了一种光纤法布里‑珀罗温度传感器及其制备方法，包括MEMS温度敏感硅片，具有第一面和第二面；第一石英片，阳极键合于第一面，第一石英片刻蚀有通孔；第二石英片，阳极键合于第二面，第一面刻蚀有第一凹槽，第二石英片刻蚀有背向第一凹槽的第二凹槽，第一凹槽与通孔连通；石英管贯穿通孔并插装于第一凹槽；光纤贯穿石英管并与第一凹槽的内底面贴合；第一凹槽的内底面与第二面之间形成硅腔，第二凹槽的内底面与第二石英片背离第二凹槽的一侧面之间形成参考腔。其利用光纤结合MEMS技术，实现对硅腔长度及参考腔长度的精确控制，产品一致性良好，有利于改善测量准确性，通过修正参考腔，使得温度灵敏度更加准确。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及传感器，尤其涉及一种光纤法布里-珀罗温度传感器及其制备方法。

技术介绍

1、光纤法布里-珀罗温度传感器由于其本征抗电磁干扰、工作性能稳定、响应速度快、精度高等优势被广泛应用于油气井、航空航天等领域。

2、游标效应是一种在干涉测量中常见的现象，它通过两个具有不同自由光谱范围（free spectral range， fsr）的干涉仪的信号叠加来实现测量精度的提高。在光纤传感器领域，游标效应被广泛应用于提高传感器的灵敏度和分辨率。当两个干涉仪的信号发生重叠时，它们的干涉频率会略有失谐，从而在输出光谱中产生一个游标包络调制。这个包络调制相对于构成系统的单个传感干涉仪的波长偏移是放大的，因此可以提供更高的灵敏度。这种效应特别适用于光纤干涉仪，如法布里-珀罗（fabry-perot）干涉仪，它们在测量温度、压力、折射率等物理量时可以利用游标效应来增强性能。

3、传统的基于游标效应的光纤法布里-珀罗温度传感器大部分依赖于焊接、切割等重复性很差的工艺，从而会导致生产效率低与一致性差的问题，其在利用复合腔反射谱包络的游标效应进行温度测本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光纤法布里-珀罗温度传感器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光纤法布里-珀罗温度传感器，其特征在于，在所述厚度方向上，所述硅腔的长度与所述参考腔的长度之间满足以下关系：

3.根据权利要求2所述的光纤法布里-珀罗温度传感器，其特征在于，所述监测波长带宽B、所述监测波长带宽内显示完整包络的周期数k及所述光纤法布里-珀罗温度传感器的工作波长λ满足以下条件：

4.根据权利要求1所述的光纤法布里-珀罗温度传感器，其特征在于，所述通孔的内径为320μm～380μm。

5.根据权利要求1项所述的光纤法布里-珀罗温度传感器，其特征在于，...

【技术特征摘要】

1.一种光纤法布里-珀罗温度传感器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光纤法布里-珀罗温度传感器，其特征在于，在所述厚度方向上，所述硅腔的长度与所述参考腔的长度之间满足以下关系：

3.根据权利要求2所述的光纤法布里-珀罗温度传感器，其特征在于，所述监测波长带宽b、所述监测波长带宽内显示完整包络的周期数k及所述光纤法布里-珀罗温度传感器的工作波长λ满足以下条件：

4.根据权利要求1所述的光纤法布里-珀罗温度传感器，其特征在于，所述通孔的内径为320μm～380μm。

5.根据权利要求1项所述的光纤法布里-珀罗温度传感器，其特征在于，所述第二凹槽的内径大于所述第一凹槽的内径；和/或者，所述mems温度敏感硅片的厚度为100μm～180μm。

6.根据权利要求1所述的光纤法布里-珀罗温度传感器，其特征在于，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡勇，王力，张超，陈科新，姜明武，
申请(专利权)人：苏州光格科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：