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本发明公开了一种液晶显示器阵列基板的制造方法,包括如下步骤:提供依次形成有栅线、栅绝缘层及有源层图形的基板;在完成步骤1的基板上依次沉积第一透明导电层及源漏金属层;在所述源漏金属层上部,通过三调掩膜板形成感光层;湿法蚀刻所述感光层暴露出的源...该专利属于北京京东方光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京京东方光电科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种液晶显示器阵列基板的制造方法,包括如下步骤:提供依次形成有栅线、栅绝缘层及有源层图形的基板;在完成步骤1的基板上依次沉积第一透明导电层及源漏金属层;在所述源漏金属层上部,通过三调掩膜板形成感光层;湿法蚀刻所述感光层暴露出的源...