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本技术涉及一种等离子蚀刻机，包括机体以及固设于所述机体中部的等离子体发生器；所述机体内设置有转盘，所述转盘的顶部内圆周面设置为齿轮状；所述转盘的表面设置有若干个PCB板固定件；所述机体的内部设置有与所述转盘啮合连接的主齿轮、以及驱动所述主齿...
该专利属于超芯微科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过超芯微科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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