温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种金刚石表面抛光损伤层的去除方法，属于金刚石技术领域，包括步骤依次为：对金刚石表面进行精抛光处理；将抛光后的金刚石使用电感耦合等离子体刻蚀机进行处理，其中使用的刻蚀气体为Cl<subgt;2</subgt;与Ar的...
该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。