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本发明提供了一种模拟ALD工艺过程的方法及可模拟ALD工艺过程的系统，涉及半导体设备技术领域。通过在计算机商业软件Ansys‑workbench‑fluent上构建ALD工艺过程的模型，进行仿真计算，根据进行多次定量计算后得到理论上最优的工...
该专利属于厦门韫茂科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门韫茂科技有限公司授权不得商用。

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