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一种线性度提高的氮化镓器件及其制备方法技术
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文档序号:43284727
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本发明公开了一种线性度提高的氮化镓器件,所述线性度提高的氮化镓器件从上至下包括电极延伸部分、V型结构和基底结构。本发明提供了一种线性度提高的氮化镓器件,利用双晶向的迁移率与二维电子气浓度不同的性质,可以实现器件的跨导平坦度调制,从而实现更高...
该专利属于南方科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过南方科技大学授权不得商用。
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