下载薄膜构造体的制造方法的技术资料

文档序号:4328419

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种薄膜构造体的制造方法,其特征在于,包括如下步骤:提供上表面具有第一凹部和第二凹部的母板,且所述第一凹部比第二凹部深;在所述母板上连续沉积具有不同厚度的第一物质层及第二物质层;对母板进行研磨,形成平坦的上表面,且所述第一凹部内...
该专利属于北京京东方光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京京东方光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。