下载硅麦克风封装结构的技术资料

文档序号:43282915

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本申请公开了一种硅麦克风封装结构,包括:基板;第一粘胶层,设置在所述基板上;第二粘胶层,设置在所述第一粘胶层上,所述第二粘胶层和所述第一粘胶层之间具有分界面;MEMS芯片,设置在所述第二粘胶层上。本申请的MEMS麦克风封装结构中,设置有两层...
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