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本技术涉及半导体气路密封技术领域，公开了一种半导体气路及其密封圈膜片结构，其中密封圈膜片结构包括：膜片，所述膜片上开设有密封口，所述密封口的设置有背向所述密封口延伸形成的具有弧度的引导槽；密封圈，所述密封圈与所述密封口的尺寸配合并卡装于所述...
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