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本发明提供了一种反铁电人工神经元器件及其制备方法，包括：提供衬底；在衬底上形成第一金属层，作为第一电极；在第一金属层上形成铪锆氧化物薄膜；在铪锆氧化物薄膜上形成第二金属层；通过快速热处理使铪锆氧化物薄膜结晶并产生反铁电性；去除第二金属层；在...
该专利属于复旦大学所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学授权不得商用。

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