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文档序号:43275890

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本发明揭露一种质量肇因分析系统,包含输入装置、储存装置、处理装置及输出装置。储存装置储存机台状态数据、产品量测数据及复数个算法。处理装置存取储存装置以建立肇因分析模型,肇因分析模型包含质量预测模块、网络解释模块及最适机台预测模块。质量预测模...
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