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本技术公开了半导体研磨废水前处理装置，包括：箱体，箱体内侧壁固定有若干从上到下依次分布的水槽，以使箱体内腔形成从上往下蜿蜒曲折的蛇形通道；设备排水连接管，其进水端接通晶圆研磨设备的废水排出端，其出水端接通箱体内蛇形通道的进水位置，并正对最高...
该专利属于上海玛程工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海玛程工程技术有限公司授权不得商用。

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