下载用于补偿加速度的膜传感器和用于产生经补偿的传感器信号的方法的技术资料

文档序号:43248825

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本发明涉及一种膜传感器(500),其包括:压力传感器(180),该压力传感器构造用于,根据能以压力加载的膜(140)的偏转产生第一传感器信号(1100);加速度传感器(200),该加速度传感器构造用于,根据作用到MEMS功能结构(290)上...
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