用于补偿加速度的膜传感器和用于产生经补偿的传感器信号的方法技术

本发明专利技术涉及一种膜传感器(500)，其包括：压力传感器(180)，该压力传感器构造用于，根据能以压力加载的膜(140)的偏转产生第一传感器信号(1100)；加速度传感器(200)，该加速度传感器构造用于，根据作用到MEMS功能结构(290)上的加速度产生第二传感器信号(1200)；和评估电路(600)，所述评估电路构造用于，根据第二传感器信号(1200)补偿第一传感器信号(110)与作用到所述膜(140)上的加速力(尤其是重力)的相关性。所述压力传感器(180)和所述加速度传感器(200)在z方向(1000)上上下堆叠。本发明专利技术还涉及一种用于借助于这类膜传感器(500)产生经补偿的传感器信号(1300)的方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微机械传感器、尤其是一种微机械的加速度和压力传感器。

技术介绍

1、微机械的传感器尤其是在汽车技术的领域和消费电子部件的领域中广泛地流传。典型地，微机械的加速度传感器具有mems功能结构(微电子机械系统，microsystem)，所述mems功能结构构造用于，检测作用到其上的加速度。

2、在这种情况下，ep 0 244 581 a1例如说明了一种用于自动地触发乘客保护装置的传感器，在该传感器中，壳体由硅板组成，用蚀刻技术由所述硅板加工出两个相同的摆，所述摆具有不对称地构造的转动质量块。

3、此外，从ep 0 773 443已知一种微机械加速度传感器，其具有在第一半导体晶片上的第一电极和在第二半导体晶片上的可运动的第二电极。在第一半导体晶片上布置有微电子评估单元。

4、微机械压力传感器通常直接地暴露于下述介质：所述介质的物理的和/或化学的特性应被检测。为了提高介质鲁棒性，常见的现有技术是，用凝胶保护敏感的传感器结构，以防止腐蚀和/或非期望的吸附质沉积。

5、但是，这样的凝胶会尤其是可能不利地影本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种膜传感器(500)，其包括：

2.根据权利要求1所述的膜传感器(500)，其特征在于，所述压力传感器(180)的膜(140)布置在垂直于所述z方向(1000)的平面内，并且所述MEMS功能结构(290)构造用于，检测作用到所述MEMS功能结构(290)上的加速度的至少一个在所述z方向(1000)上起作用的加速度分量。

3.根据权利要求1或2所述的膜传感器(500)，其特征在于，所述加速度传感器(200)的所述MEMS功能结构(290)和所述压力传感器(180)的所述膜(140)至少局部叠加地布置。

4.根据以上权利要求中任一项所述的膜传感器(5...

【技术特征摘要】

1.一种膜传感器(500)，其包括：

2.根据权利要求1所述的膜传感器(500)，其特征在于，所述压力传感器(180)的膜(140)布置在垂直于所述z方向(1000)的平面内，并且所述mems功能结构(290)构造用于，检测作用到所述mems功能结构(290)上的加速度的至少一个在所述z方向(1000)上起作用的加速度分量。

3.根据权利要求1或2所述的膜传感器(500)，其特征在于，所述加速度传感器(200)的所述mems功能结构(290)和所述压力传感器(180)的所述膜(140)至少局部叠加地布置。

4.根据以上权利要求中任一项所述的膜传感器(500)，其特征在于，所述膜(140)被凝胶(480)覆盖为，使得作用到所述膜(140)上的加速力至少部分地由所述凝胶(480)的重量引起。

5.根据以上权利要求中任一项所述的膜传感器(500)，其特征在于，所述压力传感器(180)和所述加速度传感器(200)是同类的变换器并且尤其分别构造为电容式变换器或者压阻式变换器，并且所述评估电路(600)构造用于，由所述压力传感器(180)的所述第一传感器信号(1100)和所述加速度传感器(200)的所述第二传感器信号(1200)产生模拟的加和信号。

6.根据以上权利要求中任一项所述的膜传感器(500)，其特征在于，所述评估电路(600)包括被分派...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·克拉森，A·朔伊尔勒，M·格拉斯，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：